CVDコーティング - みのる産業株式会社

CVDコーティングとは

CVD(Chemical Vapor Deposition)コーティングは化学的な成膜方式で、

大気圧～中真空（100～10-1Pa）の状態において、ガス状の気体原料を送り込み、

熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えて化学反応を励起・促進して薄膜や微粒子を合成し、

基材・基板の表面に吸着・堆積させ処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせる方法です。

熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、高温度（900～1100℃）で単層又は多層コーティングし、

得られた高硬度、高密着力セラミック膜により素材の性能を飛躍的に向上させます。

すべり性／耐薬品性／耐熱性／撥水・撥油性／親水性／耐摩耗性／電気特性／寸法安定性

半導体の絶縁膜・保護膜（酸化シリコン，窒化シリコン，etc.）

切削工具の刃先部やギアの接触部（窒化炭素，窒化チタン，etc.）

熱による分解反応や化学反応を利用する方式。

触媒化学気相成長法(Cat-CVD) – 高温のフィラメントを用いて原料ガスを分解させる方式。

ホットワイヤー型CVD(HWCVD)とも呼ばれる

プラズマを用いて原料ガスの原子や分子を励起・反応させる方式。

原料に有機金属を用いるもの。

冷間鍛造用金型、フォーミングパンチ・ダイ、ニブ、トリミングダイス、サイジングダイス、曲げダイ、絞りパンチ・ダイ、抜パンチ、トリマーダイス、プラスパンチ、バーリングパンチ、コイニングパンチ、刻印、マンドレルダイカストピン、入子ピン、押出ダイス

超硬チップ、バイト、パイプ切断刃、カッター、チェザーチップ

基準ピン、ガイド、ローラー、ホルダー、ニードル、ブッシュ、電極、給電子、ノズル、プラグ、ボールバルブ、ベアリングボール、ホットランナーノズル

その他

セラミック、カーボン部品

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