半導体･電子分野で選ばれる表面処理
フッ素樹脂の使用量の大きなウェイトを占める分野に半導体やセンサーといった電子デバイスの製造装置があります。微細化が進む半導体プロセスにおいて、より高純度な環境が求められ上で樹脂として耐熱性に優れ、化学的に安定であり、付着の軽減も図れ、何よりメタル溶出の少ない材料である為に採用されます。
また、装置に利用されるロボットを起因とする汚染対策でもコーティング技術が利用されます。腐食環境で使用されるロボット部品の防食や、一般的なフッ素樹脂コーティングが難しいCFRP材質への特殊なフッ素樹脂コーティングなどです。
めっき冶具、はんだ治具、半導体製造ラインなどの用途
搬送冶具、ラベラー、包装機刃物、チャック爪などの用途
精密金型などの用途
混合タンク、ホッパーなどの用途
薬液供給タンクなどの用途
高温設備部材（ロール、ヒーターカバー）などの用途
ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途
クリーンルーム内壁、実験設備、各種治工具などの用途
→常温加工型フッ素コーティング
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