エッチング加工とは

エッチング (Etching) とは、化学薬品などの腐食作用を利用した表面加工の技法です。
素材表面で加工を行いたくない所にはレジスト処理を行います。

それにより素材表面が守られ、レジスト処理を行っていないところがエッチングされ目的形状を得る事ができます。

銅版による版画・印刷技法として発展してきた歴史が長く、銅や亜鉛などの金属加工に使用されることが多かったです。
しかし素材が腐食性のあるものであれば様々な表面加工に応用可能です。

現在は金属プレス加工などで難しい複雑な加工のために使用されています。

エッチングの種類

エッチングは大きく分けて、ウェットエッチングとドライエッチングの2種類です。

ウェットエッチング

酸やアルカリなどの溶液を用いて腐食する加工方法です。

加工する金属と溶液の組み合わせ次第で、等方性エッチングと異方性エッチングに分けられます。

2種類に分かれる理由は、溶液の種類によって金属材料の腐食しやすさが変わり、金属結晶面の特定方向のみ優先して腐食が進むのか、方位に関係なく均一に進むのかが異なるためです。

ドライエッチング

ドライエッチングの場合は垂直にイオンをぶつけて垂直方向だけをエッチングします。
そのためマスキングで保護した直下は加工されません。

異方性は結晶構造の違いによる縦横の反応性の違いを利用して縦横比の大きい構造を形成する技術です。

反応に用いる薬剤は反応性が弱い種類を使用する為、処理に時間がかかります。
綿密に濃度、温度の管理をする事が必要です。

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